TERPS (резонансные датчики давления
с вытравливанием канавок) — это
совершенно новая технология измерения
на основе кремниевых сенсоров,
обеспечивающая небывалый уровень
точности и стабильности измерений. В TERPS
применяется резонансный кремниевый
сенсор давления, в котором используются
преимущества естественной идеальной
упругости монокристаллической
структуры. К преимуществам данной
технологии относится повторяемость
измерений, низкий гистерезис,
а также очень высокая долговременная                
стабильность

Назад в раздел